等离子Plasma（片式）
制程能力
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PD06
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SBS电浆去胶渣机
➤ 产能28片(20”x24”)
➤ 电浆密度高
➤ 处理均匀性佳>80%
➤ 应用制程广(去胶渣、粗糙化、活化…等) |
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項目 |
規格 |
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設備體積（W*D*H） |
2000mm*2100mm*262mm |
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電極 |
水冷電極 |
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真空腔體 |
不鏽鋼腔體+鋁腔體門 |
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處理能力 |
PCB：28片（20'' X 24'' ），可移動式夾具 |
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壓力計 |
標準四顆（N2，O2，CF4，Ar) 選配一顆 |
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流量計 |
760-10-3 torr |
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真空幫浦 |
乾式幫浦+魯式幫浦 |
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應用產業 |
PCB/FPC
印刷或黏著前之表面粗化或清潔 |
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